| Найдено документов - 1 | Источник: Халилуллин, Р. Р. (НИЦ "Курчатовский институт" - Отделение физико-технологических исследований им. К. А. Валиева (Москва)). Оптимизация процессов ионного травления в микро- и наноэлектронике путе... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
| Журнал технической физики. № 1. - Москва, 2026. - https://journals.ioffe.ru/issues/2609. | |
| Поиск: | Статьи из номера журнала (сборника) Источник |
| Ссылка на ресурс: | https://journals.ioffe.ru/issues/2609 |