Представление документа в формате MARC21

ПолеНазваниеЗначение
  Тип записи a
  Библиографический уровень b
001 Контрольный номер ULGU/FULLTEXT/0e4b200b2f6e468ba7ed940eee50bada
005 Дата корректировки 20240416102728.8
008 Кодируемые данные 240416s||||2024ru||||||||||||||||||rus|d
040 Источник каталогиз. __
a Служба первич. каталог. НБ УлГУ
b Код языка каталог. rus
041 Код языка издания 0_
a Код языка текста rus
h Код языка оригинала rus
084 Индекс другой классификации/Индекс ББК __
a Индекс другой классификации/Индекс ББК 22.333
100 Автор 1_
a Автор Кудряшов, М. А.
u Дополнение Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
4 Код отношения 070
245 Заглавие 10
a Заглавие Влияние температуры подложки на свойства пленок GaS, полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы
336 Вид содержания __
a Термин вида содержания Текст
337 Средство доступа __
a Термин типа средства непосредственный
504 Библиография __
a Библиография Библиогр.: с. 650-651 (28 назв.)
520 Аннотация 0_
a Аннотация Методом плазмохимического осаждения из газовой фазы впервые получены тонкие пленки GaS. В качестве прекурсоров использованы высокочистые элементарные Ga и S. Плазму возбуждали высокочастотным генератором (40.68 MHz) при пониженном давлении 0.1 Torr.
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Физика
650 Тематические рубрики 14
a Основная рубрика Электронные и ионные явления. Физика плазмы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова пленки GaS
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова сульфид галлия
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова Ga
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова S
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова плазмохимическое осаждение
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова газовые фазы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова высокочастотные генераторы
653 Ключевые слова 1_
a Ключевые слова температура подложки
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Мочалов, Л. А.
u Дополнение Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Вшивцев, М. А.
u Дополнение Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Прохоров, И. О.
u Дополнение Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Спивак, Ю. М.
u Дополнение Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Мошников, В. А.
u Дополнение Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В. И. Ульянова (Ленина)
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Кудряшова, Ю. П.
u Дополнение Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Мосягин, П. В.
u Дополнение Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Слаповская, Е. А.
u Дополнение Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского
4 Код отношения 070
700 Другие авторы 12
a Другие авторы Малышев, В. М.
u Дополнение Нижегородский государственный технический университет им. Р. Е. Алексеева
4 Код отношения 070
773 Источник информации 18
w Контрольный № источника ULGU/FULLTEXT/17cf7b199219454f837c6b9480db3402
t Название источника Журнал технической физики
d Место и дата издания 2024
g Прочая информация № 4. - С. 646-651
x ISSN 0044-4642
856 Электронный адрес документа 40
u URL https://journals.ioffe.ru/articles/57536
901 Тип документа __
t Тип документа b
911 Журнальная рубрика __
a Журнальная рубрика Физика низкоразмерных структур