| Найдено документов - 1 | Источник: Пашенцев, В. Н. (Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ" (Москва)). Магнетрон с внешним магнитом для увеличения содержания ионов в потоке осаждаемых атомов / В. Н. Пашенцев, Е. ... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 4. - Москва, 2025. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2509.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2509