| Найдено документов - 1 | Источник: Стенд для тестирования чувствительных к экстремальному ультрафиолетовому излучению фоторезистов / А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай [и др.]. - Текст : непосредственный // Журнал техническо... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 8. - Москва, 2024. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2433.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2433