| Найдено документов - 1 | Источник: Применение метода ионно-пучкового травления свободновисящих пленок для разработки пленочных корректоров экстремального ультрафиолетового диапазона длин волн / Н. Н. Цыбин, Е. Б. Клюенков, А. Я. ... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 7. - Москва, 2024. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2420.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2420