| Найдено документов - 1 | Источник: Газофазная эпитаксия слоев AlN на наноструктурированном темплейте AlN/Si(100), синтезированном методом реактивного магнетронного распыления / В. Н. Бессолов, М. Е. Компан, Е. В. Коненкова [и др.... | Версия для печати |
Сортировать по:
1. Номер журнала
Журнал технической физики. № 6. - Москва, 2024. - URL: https://journals.ioffe.ru/issues/2409.
Ссылка на ресурс: https://journals.ioffe.ru/issues/2409